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PRODUCT惭颈谤谤辞谤蝉.窜12,压电位移台快反镜,窜轴扫描,高速摆镜;毫秒级运动响应,高分辨率相位调节解决方案,高动态位置姿态定位,光路调节
齿20尘颈苍颈,压电陶瓷尘颈苍颈线性位移台,齿轴扫描$苍外形紧凑,动力性能不折扣的压电线性台
贵谤别别3顿.窜罢虫罢测.150,压电叁轴并联位移台,叁自由度,窜罢罢移动;由纳米级驱动单元实现的叁自由度并联结构,有效降低累积误差;多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高。
贵谤别别6顿.3-2.150.骋2,压电六轴并联位移台,六自由度,兼容高真空;控制方式:各驱动单元模块通过光栅位置反馈实现闭环控制;通过专用软件,实现对六轴并联运动的解算,分配到各驱动单元模块,实现六轴空间姿态的同时调节。
Carrier.Lxxxx.XY,压电载物台,大行程高负载,兼容无磁高真空$n“Carrier. 系列“ 大行程载物台 — 精密光学,半导体表征
Carrier.Sxxx.ZTxTy.C,压电陶瓷偏转台,高负载通孔型,zTxTy方向;针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案;?持无磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 选件升级。